포항 가속기를 이용한 X-선 리소그래피 시스템의 설치와 성능평가 = Integration and characterization of an X-ray lithography system at PAL|RISS 상세보기

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저자

최보경
발행사항
포항: 포항공과대학교, 1998
학위논문사항

학위논문(박사) -- 포항공과대학교 대학원 , 전자전기공학과 반도체전공 , 1998
발행연도
1998
작성언어
한국어
주제어

포항 ; 가속기 ; X선 ; 리소그래피 ; INTEGRATION ; CHARACTERIZATION ; XRAY ; LITHOGRAPHY ; SYSTEM ; PAL
KDC
569.41 판사항(4)
DDC
621.38152 판사항(21)
발행국(도시)
경상북도
형태사항
86장: 삽도; 26cm
소장기관
- 국립중앙도서관
- 포항공과대학교 박태준학술정보관